方法概述：

在高純氣體分析中，微量CO、CH4、CO2的分析占有重要的地位，本方法利用TDX-01色譜柱完成分離，甲烷轉(zhuǎn)化器將CO/CO2轉(zhuǎn)化為CH4，在氫火焰FID檢測器上響應(yīng)，可得到優(yōu)于0.05ppm的檢出限濃度指標(biāo)。

實(shí)驗儀器及標(biāo)準(zhǔn)物：

氣相色譜儀G51（FID檢測器），六通閥+模塊化甲烷轉(zhuǎn)化器

數(shù)據(jù)處理工作站3091

標(biāo)準(zhǔn)氣體4L：CO(1PPM)；CO2 (1PPM)；CH4（1PPM）

N2 純度>99.999%

空氣：無油空氣發(fā)生器（XGA-380A）

氫氣：高純氫氣發(fā)生器（XGH-300）